В Томске начали выпуск химических веществ для производства микроэлектроники

Томский государственный университет (ТГУ) сообщил о начале выпуска на базе «Инжинирингового химико-технологического центра» (ИХТЦ) химических веществ, которые будут использоваться для развития российской микроэлектроники.

Как передает «Интерфакс», в Томске будут выпускать особо чистый бромистый водород и тетракис(диметиламино)титан. Первый используется для очистки поверхности кремниевых пластин, а второй — для химического осаждения пленок нитрида титана из газовой фазы, что нужно при выпуске полупроводников.

Первые партии тетракис(диметиламино)титана (TDMAT) уже отправили российским предприятиям, бромистый водород ранее прошел промышленные испытания на базе отечественных предприятий, которые выпускают компоненты для микроэлектронных устройств и систем.

По данным ЕГРЮЛ, ИХТЦ на 15% принадлежит ТГУ, еще на 85% — гендиректору Алексею Князеву.

Ранее «СибМедиа» сообщало, что ТГУ подозревают в нарушении антимонопольного законодательства.